İnce Film Kaplama Sistemi

Marka:Nanovak

Model: NVTS-400

En yaygın ince film üretme yollarından biri olan fiziksel buhar biriktirme (PVD) tekniğiyle çalışmaktadır. Cihazın termal buharlaştırma, RF ve DC kaplama olmak üzere 3 farklı modu bulunmaktadır. Bu sistemle çeşitli malzemelerden çok katmanlı ince film üretilebilmektedir. Araştırmacıların taleplerine göre nanoboyutta Si, Al, Ti, SiO, WO, BaF2, MgF2, TiO2, Si3N4, SiO2, TiN gibi metalik, oksit, karbür veya nitrür yapılar elde edilmektedir. Kaplama süreci yüksek vakum altında Ar, N2, O2 atmosferlerinde gerçekleştirilmektedir.

Cihazdan Sorumlu Kişiler

Diğer Cihazlar

Related Projects
X