AU-PD KAPLAMA CİHAZI

Cihaz, DC kopartma yöntemiyle, SEM’de görüntülenecek numunelerin yüzeyine Altın-Paladyum ile kaplayarak, iletken olmayan yüzeyleri iletken hale getirmede kullanılır. Numune kaplanma aşamasında vakum altına alınır ve numunenin özelliğine göre değişen akım ve süre ayarı yapılarak birkaç dakika içerisinde Au-Pd tabakası ile kaplanması sağlanır.